以下是真空泄壓閥具體的工作過程：

1. 當進入隔膜（活塞）上方控制室內的壓力介質被排到大氣或下游低壓區時，作用在閥盤底部和隔膜下方的壓力值大于上方的壓力值，依靠管路介質將主閥閥盤推到完全開啟的位置；

2. 當進入隔膜（活塞）上方控制室內的壓力介質不能排到大氣或下游低壓區時，作用在隔膜（活塞）上方的壓力值大于下方的壓力值，管路中的介質將主閥閥盤壓到完全關閉的位置；

3. 當隔膜（活塞）上方控制室內的壓力值處于人口壓力與出口壓力之間時，主閥閥盤處于調節狀態，其調節位置取決于附設管路系統中針閥和可調導閥的聯合控制作用。